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甄耀言研發的大理石XY直線電機采用進口交叉滾柱導軌的選用,保 證了設備運行尤其是小步距運動時優秀的響應以及線性精度;直驅加全閉環機構又進一步保證了整套系 統的重復性;一體化整體結構件加工,既讓平臺擁有了非常優秀的高度控制,同時精度及穩定性要穩穩 優于傳統的十字交叉堆疊平臺。
龍門式三軸直線電機為我司近期推出的高性能一體式系統,整機采用了高剛性的花崗巖作為底座
采用直線電機 具有精度高,負載大、速度快等優點 帶配重平衡和導軌剎車
高精度XY軸顯微鏡掃描平臺
大中空XY軸直線電機位移臺
甄耀言科技推出的單軸直線電機,其特點是單軸直線運動平臺采用有鐵芯直線電機,推力大載荷高;光柵反饋,提升平臺控制精度;密閉的平臺,增強使用安全性;應用于:電子加工,半導體加工等行業
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